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半導体用途

ウルシード PCTFE耐食コーティング

シート 拡大表示 石英ガラスへの
ウルシードコーティング

低浸透・低透過、高硬度、メタルフリーで他の耐食コーティングを圧倒。
抜群の耐久性を誇るウルトラシールドコーティング、「ウルシード」。

耐食コーティングやライニングの剥離問題は液体やガスが皮膜に浸透・透過することにより発生します。
「ウルシード」は従来のフッ素樹脂コーティングと比較し、浸透・透過を大幅に抑制することに成功しました。
クリーン度の高いクリア皮膜による、漆塗りのような光沢が特徴です。

実績例 PCTFEの水蒸気透過率

CMPスラリー固着対策コーティング

CMPスラリーの固着防止に

・低温焼成で施工ができ、アルミ基材の歪を防止。
・プライマーレスでの施工が可能。
・溶融樹脂でありピンホールレス加工を実現。
・塗膜が硬く傷つき難くい事で耐久性が向上。
・スラリーの固着を大幅軽減、
・コンタミ防止、清掃性向上に貢献。